Verios 5 XHR SEM забезпечує субнанометрову роздільну здатність у всьому діапазоні енергій від 1 кеВ до 30 кеВ з відмінною контрастністю матеріалів. Безпрецедентний рівень автоматизації та простота використання роблять цю продуктивність доступною для користувачів з будь-яким рівнем досвіду.
Брошура
Технологія SmartAlign
Технологія SmartAlign усуває необхідність будь-яких користувацьких вирівнювань електронної колонки, що не тільки мінімізує технічне обслуговування, але й підвищує продуктивність.
Інноваційна електронна оптика
Включаючи запатентований Thermo Scientific пістолет UC+ (монохроматор), лінзи ConstantPower і електростатичне сканування для точного і стабільного отримання зображень.
Субнанометрова роздільна здатність
Монохромна (UC+) технологія Elstar Schottky FESEM і продуктивність з субнанометровою роздільною здатністю від 1 до 30 кЕВ.
Послідовні результати вимірювань
Verios ідеально підходить для лабораторних вимірювань з можливістю калібрування за стандартом, сертифікованим NIST, при великому збільшенні.
Робота з низькими дозами і оптимальний вибір контрасту
Удосконалений набір високочутливих детекторів, розташованих в колонці і під об’єктивом, а також фільтрація сигналу для роботи з низькими дозами і оптимального вибору контрасту.
Легкий доступ до виходу енергетичного променя
Всього 20 еВ з дуже високою роздільною здатністю для точного визначення характеристик поверхні.
Робота РЕМ в автоматичному режимі
З програмним забезпеченням AutoScript 4, додатковим інтерфейсом прикладного програмування (API) на основі Python.
Велика камера
З можливістю вибору з двох точних і стабільних п’єзоелементів.
| Роздільна здатність електронного променя |
|
| Стандартні детектори | ETD, TLD, MD, ICD, вимірювання струму пучка, Nav-Cam+, IR-камера |
| Додаткові детектори | Додаткові детектори | EDS, EBSD, RGB катодолюмінесценція, раманівський, WDS та інші |
| Регулювання напруги (уповільнення променя, опціонально) | До -4000 В, входить в стандартну комплектацію |
| Очищення зразків | Вбудований плазмовий очищувач, входить в стандартну комплектацію |
| Маніпуляції зі зразками | Verios 5 UC
5-осьовий моторизований евцентричний столик з п’єзоприводом осей XYR. Діапазон XY 150 x 150 мм2, діапазон нахилу 70°. Завантаження через дверцята. Verios 5 HP Надстабільний 5-осьовий п’єзомоторний сценічний столик, що монтується в камері, з повним п’єзоприводом. Площа XY 100 x 100 мм2, діапазон нахилу 70°. Завантаження за допомогою автоматичного блокування вантажу. |
| Камера | 379 мм внутрішня ширина, 21 порт |
| Опції програмного забезпечення |
|
