Verios 5 XHR SEM обеспечивает субнанометровое разрешение во всем диапазоне энергий от 1 кэВ до 30 кэВ с отличной контрастностью материалов. Беспрецедентный уровень автоматизации и простота использования делают эту производительность доступной для пользователей с любым уровнем опыта.
Брошура
Технология SmartAlign
Технология SmartAlign устраняет необходимость каких-либо пользовательских выравниваний электронной колонки, что не только минимизирует техническое обслуживание, но и повышает производительность.
Иннoвационная электронная оптика
Включая запатентованный Thermo Scientific пистолет UC+ (монохроматор), линзы ConstantPower и электростатическое сканирование для точного и стабильного получения изображений.
Субнанометровое разрешение
Монохромная (UC+) технология Elstar Schottky FESEM и производительность с субнанометровым разрешением от 1 до 30 кЭВ.
Последовательные результаты измерений
Verios идеально подходит для лабораторных измерений с возможностью калибровки по стандарту, сертифицированному NIST, при большом увеличении.
Работа с низкими дозами и оптимальный выбор контраста
Усовершенствованный набор высокочувствительных детекторов, расположенных в колонке и под объективом, а также фильтрация сигнала для работы с низкими дозами и оптимального выбора контраста.
Легкий доступ к выходу энергетического луча
Всего 20 эВ с очень высоким разрешением для точного определения характеристик поверхности.
Работа РЭС в автоматическом режиме
С программным обеспечением AutoScript 4, дополнительным интерфейсом прикладного программирования (API) на основе Python.
Большая камера
С возможностью выбора из двух точных и стабильных пьезоэлементов.
| Роздільна здатність електронного променя |
|
| Стандартні детектори | ETD, TLD, MD, ICD, вимірювання струму пучка, Nav-Cam+, IR-камера |
| Додаткові детектори | Додаткові детектори | EDS, EBSD, RGB катодолюмінесценція, раманівський, WDS та інші |
| Регулювання напруги (уповільнення променя, опціонально) | До -4000 В, входить в стандартну комплектацію |
| Очищення зразків | Вбудований плазмовий очищувач, входить в стандартну комплектацію |
| Маніпуляції зі зразками | Verios 5 UC
5-осьовий моторизований евцентричний столик з п’єзоприводом осей XYR. Діапазон XY 150 x 150 мм2, діапазон нахилу 70°. Завантаження через дверцята. Verios 5 HP Надстабільний 5-осьовий п’єзомоторний сценічний столик, що монтується в камері, з повним п’єзоприводом. Площа XY 100 x 100 мм2, діапазон нахилу 70°. Завантаження за допомогою автоматичного блокування вантажу. |
| Камера | 379 мм внутрішня ширина, 21 порт |
| Опції програмного забезпечення |
|