Новая турбомолекулярная сиcтема TPS Compact - настоящее произведение искусства. Откачные посты стали еще компактнее и легче. TPS Compact может быть интегрирована в любую сложную систему.
Для создания глубокого вакуума, система оснащена сухим спиральным форвакуумным насосом IDP-3, способным обеспечивать скорость откачки до 60 л/мин и комплектуется турбомолекулярными насосами Turbo-V 81 или Turbo-V 301, создающими вакуум до 5х10-9мбар.